SF6气体因其绝缘和灭弧性能广泛应用在变电站中，SF6电气设备泄漏有如下危害：
(1)SF6气体虽然无色、无味、无毒，但它是惰性重度气体， 常沉积在低凹处地方，造成它所覆盖的处所与空气隔绝，表现为缺氧、容易污染环境又不易被清除。在工作场所中，当空气中的SF6气体泄漏含量超过一定数值时， 有害的分解物成份可能损害人身健康。
(2)SF6电气设备泄漏造成了SF6气体损失，气体纯度降低，水、酸和可水解和可水解物杂质成份增加，导致介质质量变差甚至不合格。泄漏也造成浪费，增重了运行维修工作量。
(3)SF6气体的绝缘介质强度与气体压力具有较大的关系。 只有使气压保持在设计规定的范围之内，避免泄漏，才能使电气设备达到或维持在设计的绝缘水平上运行。
作为变电站管理和操作人员，对泄露SF6气体的危害要慎之又慎。SF6气体是一种惰性化学气体，虽然本身无毒，但大量吸入却使人因缺氧而窒息。由于SF6比空气重5倍。当SF6断路器严重泄漏时，大量SF6气体将充入配电室、电缆沟或地面，并从低于高逐渐堆集，将低凹空间内的空气“挤走”。此时如果有人进入配电室和电缆沟内工作，将吸入大量的SF6气体，停留时间过长就会因缺氧而死亡。
因此，在有SF6气体大量外漏的场所，应开窗通风或用排风设备将SF6气体排出。只有当SF6气体在室内稀薄到一定程度后，才允许人员进入。
在有人长期工作的环境中，SF6气体的允许浓度，美国卫生标准建议可为1000PPm，在我国电力安规中也硬性规定这一安全阈值。
于是，SF6气体在线监测系统是高压变电站GIA室内SF6设备不可或缺的运行监测和智能管理的手段，已成为变电站GIS设备的标准配置之一。